產品介紹

精密刻蝕鍍膜系統(tǒng)PECS II 685

品牌： GATAN

名稱型號：精密刻蝕鍍膜系統(tǒng)PECS II 685

制造商： 美國GATAN公司

經銷商：歐波同有限公司

產品綜合介紹：

產品功能介紹
Gatan公司的精密刻蝕鍍膜儀 (PECS™) II 是一款桌面型寬束氬離子拋光及鍍膜設備。對于同一個樣品，可在同一真空環(huán)境下完成拋光及鍍膜。

精密刻蝕鍍膜系統(tǒng)PECS II 685產品主要技術特點：

精密刻蝕鍍膜儀 (PECS™) II，采用兩個寬束氬離子束對樣品表面進行拋光，去除損失層，從而得到高質量的樣品，用于在SEM、光鏡或者掃描電子探針上進行成像、EDS，EBSD，CL，EBIC或者其他分析，另外將這兩支離子槍對準靶材濺射，可用來對樣品做導電金屬膜沉積處理，以防止樣品在電鏡中發(fā)生荷電效應。
這款儀器被設計為不破壞真空，不將樣品新鮮表面暴露在大氣中，即可對拋光樣品進行處理。樣品的裝卸是通過一個專門設計的裝樣工具在真空交換艙中完成。

兩支具有更大電壓范圍的小型潘寧離子槍，可提供快速柔和的拋光效果。低至100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的終ji拋光。低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個加速電壓范圍內都保持一致。每個離子槍都能準確獨立地進行對中。在儀器運行過程中，離子槍的角度可隨時進行調整。離子槍的氣流可在觸摸屏上通過手動方式或者自動方式進行調整， 用于優(yōu)化離子槍的工作電流。
PECS II樣品臺采用液氮制冷方式?？梢杂行У谋Ｗo樣品，避免離子束熱損傷，消除可能的假象。

集成的10英寸彩色觸摸屏計算機可對PECS II系統(tǒng)的所有操作參數進行*控制。此界面不僅可以設定所有參數并能夠監(jiān)控拋光過程。所有的操作參數還可以存為配方，調用配方可獲得高精度重復實驗。
渦輪分子泵搭配兩級隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。通過Gatan的樣品裝卸工具能實現快速樣品交換（< 1min），這樣就能保證換樣過程中加工艙室始終處在高真空狀態(tài)。